Instalação e calibração do sistema de spin coating do LDCI

Abstract

O presente texto é o resultado e continuação da minha Pesquisa de Iniciação Científica, PIC. Com a finalidade de caracterizar e instalar o sistema de cobertura por rotação (spin coating) presente no LDCI (Laboratório de Dispositivos e Circuitos Integrados), filmes finos feitos a partir de soluções de PEDOT:PSS (poli(3,4- etilenodioxitiofeno):poli(4-estirenosulfonato)) e PS:OB 34% foram depositados em substratos flexíveis planares de poliéster testando os três parâmetros variáveis do equipamento: a aceleração angular, o tempo do processo e a velocidade angular. Um procedimento experimental detalhado foi realizado para a obtenção de filmes uniformes e reprodutíveis de espessura e resistência determinadas. Algumas outras técnicas de deposição de filmes finos poliméricos foram brevemente descritas e gráficos contendo os resultados experimentais foram traçados.